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現有廢氣處理設備有哪些困擾問題?
- 2020-02-26-

  當制作工藝機臺的廢氣自制作工藝反應室抽離后,會先經過廢氣處理設備,再作進一步處理,之后排入空氣。日前的廢氣處理設備,廢氣處理廠家通常采用前段高溫加熱,使半導體制作工藝廢氣氧化,后段再經灑水裝置以清水噴灑沖洗,將高溫廢氣降溫,同時洗滌高溫廢氣,使廢氣中的微?;蛘咚釅A溶解于水中,再將廢水經由排水管排出,并通過抽風裝置將處理過的廢氣通過排氣管排放至外界。由于此設備有效結合氧化及水洗的優點,能適用于大量粉塵的制作工藝中,因此廣受各大半導體廠選用。

  廢氣處理廠家為了與抽風裝置所產生的風壓抗衡,現有的廢氣處理設備排水管須設置有一些高的存水彎,以利用其靜水壓力來抵御風壓,使廢水能順利經由排水管排出。然而,當抽風裝置所產生的風壓高過2000毫米水柱(mmAq)以上時,其所需的存水彎長度將長達幾十公尺(米),無論在實務上或建置空間上皆不適宜。若用以抵御抽風裝置的風壓的存水彎長度不足,則廢水會隨著處理過的廢氣一同吸送至排氣管而排放至外界,不但造成環境污染,還會使管線積水,進而造成嚴重的管線腐蝕問題、工安危害以及維修上的困擾。

  對此問題,廢氣處理廠家給出了解決方案,下期我們將為大家展示,敬請期待。

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